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發明專利轉讓——SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池制備方法

專利號:CN201410193781

有效期間:2014-05-09 至 2034-05-08

國家商標局備案機構,安全保障

發明專利轉讓——SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池制備方法
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專利類型:
發明專利
適用行業:
化學
專利描述:
本發明公開了一種SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池制備方法,屬于太陽能電池技術領域。該方法包括如下步驟:a、將FTO導電玻璃清洗干凈,安裝于磁控濺射機基片座上;b、開啟真空抽氣系統抽真空;c、通入氬氣,執行預濺射程序;d、再次執行抽本底真空;...
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本發明公開了一種SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池制備方法,屬于太陽能電池技術領域。該方法包括如下步驟:a、將FTO導電玻璃清洗干凈,安裝于磁控濺射機基片座上;b、開啟真空抽氣系統抽真空;c、通入氬氣,執行預濺射程序;d、再次執行抽本底真空;e、再次通入氬氣,當真空室內真空度達到2~9×10-1Pa后,開啟SnS靶材的濺射電源制備SnS薄膜;SnS薄膜制備完成后制備ZnS薄膜;f、重復操作,總共制備2~4個P-N結;g、制備Al薄膜后即得到SnS/ZnS疊層薄膜太陽能電池。本發明方法能夠提高電池光吸收率,即能提高電池光電轉換效率,制備過程穩定、溫度低、能耗低,適于大范圍的工業推廣應用。

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